[发明专利]投影物镜支撑装置以及光刻机设备有效
| 申请号： | 201610777156.X | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN107797217B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 赵灿武;孙见奇 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种投影物镜支撑装置以及使用这种投影物镜支撑装置的光刻机设备，这种投影物镜支撑装置包含有筒壁具有若干层镂空的柔性支座的支座本体，每一层镂空具有若干个网格，相邻两层镂空的网格相互错位，这样使得该支撑装置具有比较合适的刚度，相互错位的网格将所受的载荷分散，即提高了承载能力，同时相互错位的网格又能够吸收振动，减少了振动对物镜的干扰。而使用这种投影物镜支撑装置的光刻机设备，除了具有上述减振的支撑装置，还在主基板与基础框架之间配备减振器，给予光刻机设备双重减振，更好地保障了投影物镜的工作环境。 | ||
| 搜索关键词： | 投影 物镜 支撑 装置 以及 光刻 设备 | ||
【主权项】：
一种投影物镜支撑装置，位于投影物镜与主基板之间，其特征在于，包括围绕所述投影物镜分布的若干组柔性支撑组件，所有所述柔性支撑组件形成的图形的中心位于所述投影物镜的中轴上，每组柔性支撑组件包括一安装在主基板上的柔性支座，所述柔性支座具有一支座本体，所述支座本体为空心的筒柱状，所述支座本体的筒壁设置有若干层镂空，每一层镂空具有若干个网格，相邻两层镂空的网格相互错位。
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