[发明专利]物镜像差校正镜及像差校正方法和光学系统、光刻机

摘要

本发明公开了一种物镜像差校正镜，包括相连的压力控制装置和镜头，所述镜头包括第一平板薄透镜、第二平板薄透镜、镜筒、第一隔圈、第二隔圈、第一压圈和第二压圈，第一隔圈、第二隔圈、第一压圈和第二压圈将所述第一平板薄透镜和第二平板薄透镜沿着光线入射的方向固定在所述镜筒内，所述第一平板薄透镜、所述第二平板薄透镜和所述镜筒的内壁围成填充区域，所述压力控制装置连通所述填充区域，用于调节所述填充区域内的压力，使得所述第一平板薄透镜和第二平板薄透镜变形，且所述第一平板薄透镜和第二平板薄透镜的变形可控，用于物镜中，可以补偿物镜的像差。本发明还公开了一种像差校正的方法，技术难点低，操作简单。

主权项

1.一种物镜像差校正镜，其特征在于，包括相连的压力控制装置和镜头，所述镜头包括第一平板薄透镜、第二平板薄透镜、镜筒、第一隔圈、第二隔圈、第一压圈和第二压圈，所述第一平板薄透镜和所述第二平板薄透镜沿光线入射方向依次设置在所述镜筒内，所述第一平板薄透镜、所述第二平板薄透镜和所述镜筒的内壁围成填充区域，所述压力控制装置连通所述填充区域，用于调节所述填充区域内的压力，所述第一平板薄透镜靠近所述填充区域的一侧设有与所述镜筒内壁固定连接的所述第一隔圈，所述第二平板薄透镜靠近所述填充区域的一侧设有与所述镜筒内壁固定连接的所述第二隔圈，所述第一平板薄透镜远离所述填充区域的一侧设有与所述镜筒固定连接的所述第一压圈，所述第二平板薄透镜远离所述填充区域的一侧设有与所述镜筒固定连接的所述第二压圈；所述第一隔圈和所述第二隔圈均包括沿周向均匀设置成环状的多个支撑块，所述第一压圈和所述第二压圈均包括沿周向均匀设置成环状的多个压块，所述支撑块与所述压块位置对应，且均设置在与所述光线入射方向平行的轴线上。/n