[发明专利]超高真空球阀

摘要

本发明的目的在于提供一种超高真空球阀，包括密封结构，密封结构用于在保证机械性能的前提下提高密封性能。超高真空球阀能够提高并保持球阀内部的真空度。密封结构包括由第一密封材料形成的密封主体和由第二密封材料形成的密封加强体，所述密封主体包括用于密封的密封面；所述密封面上设置有凹槽，所述密封加强体嵌在所述凹槽中；所述密封加强体安装在所述密封主体上，并且突出所述密封面；所述第二密封材料的硬度小于所述第一密封材料的硬度；超高真空球阀，其密封结构具有软密封的密封效果，实现了从低真空球阀到超高真空球阀的突破。

主权项

一种超高真空球阀，包括球体(5)，其特征在于，还包括密封结构，所述密封结构包括由第一密封材料形成的密封主体(1)和由第二密封材料形成的密封加强体(2)，所述密封主体(1)包括用于密封的密封面(3)；所述密封面(3)上设置有凹槽(4)，所述密封加强体(2)嵌在所述凹槽(4)中；所述第二密封材料的硬度小于所述第一密封材料的硬度；所述密封面(3)和密封加强体(2)分别与所述球体(5)的球面接触，形成对所述超高真空球阀的密封。