[发明专利]一种聚硅氧烷、掺杂浆料以及掩膜材料在审
| 申请号： | 201610787302.7 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN107793570A | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 徐芳荣;李平;池田武史;金光男;宋韡 | 申请（专利权）人： | 东丽先端材料研究开发（中国）有限公司 |
| 主分类号： | C08G77/16 | 分类号： | C08G77/16;H01L31/0288 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200241 上海市闵行*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种聚硅氧烷，其特征在于含有至少一种选自下式1所示的分子结构片段，式1中，Q为含有醇羟基且主链碳原子数小于12的烷基、或者含有醇羟基且主链非氢原子数小于12且含杂原子的烷基；T为羟基、烷基、含有醇羟基且主链碳原子数小于12的烷基、或者含有醇羟基且主链非氢原子数小于12且含杂原子的烷基。使用本发明聚硅氧烷制备的掺杂浆料以及掩膜材料在具有优良扩散性的基础上，同时还具有优良的阻隔性和极小的气中扩散。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚硅氧烷 掺杂 浆料 以及 材料 | ||
【主权项】：
一种聚硅氧烷，其特征在于：含有至少一种选自下式1所示的分子结构片段，式1中，Q为含有醇羟基且主链碳原子数小于12的烷基、或者含有醇羟基且主链非氢原子数小于12且含杂原子的烷基；T为羟基、烷基、含有醇羟基且主链碳原子数小于12的烷基、或者含有醇羟基且主链非氢原子数小于12且含杂原子的烷基。
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