[发明专利]栅网及离子源有效
| 申请号： | 201610792680.4 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106158565B | 公开（公告）日： | 2017-09-19 |
| 发明（设计）人： | 刁克明 | 申请（专利权）人： | 北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京格允知识产权代理有限公司11609 | 代理人： | 周娇娇,谭辉 |
| 地址： | 100071 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种栅网，用于离子源的离子光学系统，所述栅网设有带栅孔的栅孔区，所述栅网上自栅孔区边缘向外呈辐射状开设有多个热应变槽，且所述热应变槽贯穿所述栅网上下表面。本发明还提供了使用该栅网的离子源。本发明通过在栅网上开设辐射状的热应变槽，彻底地解决耐熔金属平面栅网的热变形问题，还能保持离子束束流的均匀度和稳定度，满足长期和反复高温环境离子源工作，提高离子源性能的重复性和离子束加工的工艺均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 | ||
【主权项】：
一种栅网，用于离子源的离子光学系统，其特征在于，所述栅网设有带栅孔的栅孔区，所述栅网上自栅孔区边缘向外呈辐射状开设有多个热应变槽，且所述热应变槽贯穿所述栅网上下表面；所述热应变槽的数量n通过以下公式计算：n＝5.705ln(d)‑7.225；n取整数值；其中d为栅网的直径；所述热应变槽在所述栅网的周向上等间隔设置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司，未经北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610792680.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：平面域导轨式高层建筑火灾救援设备
- 下一篇：一种吸水芯体的超声波复合设备
