[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物在审
| 申请号： | 201610798919.9 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN107121899A | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 金正铉;高京俊;崔汉永 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 钟晶,金鲜英 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及抗蚀剂剥离液组合物，更详细而言，涉及如下抗蚀剂剥离液组合物通过包含下述化学式1的咪唑烷系化合物和极性有机溶剂，从而抗蚀剂剥离力显著优异，能够使对于包含铜和铝的金属膜质的腐蚀性最小化。上述化学式1中，R1和R2各自独立地为碳原子数1～3的亚烷基。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 组合 | ||
【主权项】：
一种抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包含极性有机溶剂和下述化学式1的咪唑烷系化合物：化学式1所述化学式1中，R1和R2各自独立地为碳原子数1～3的亚烷基。
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