[发明专利]一种感光树脂、正性光刻胶及应用

摘要

本发明公开了一种感光树脂、正性光刻胶及应用，属于光刻技术领域。该感光树脂的化学结构式如下所示：其中，a、b、c为对应单体的摩尔分数，0.1b0.5，0c0.15，a+b+c＝1，R1、R2、R3、R4均为氢、甲基、或者乙基；R6、R7、R8均为氢或甲基；R9为或R5为腈基，苯基，萘基，带有甲基、乙基、腈基、甲氧基、乙氧基、乙酰氧基的单取代苯基、双取代苯基、或者三取代苯基，带有甲基、乙基、腈基、甲氧基、乙氧基、乙酰氧基的单取代萘基、双取代萘基、或者三取代萘基，9‑咔唑基，1‑吲哚基，1‑吡咯基，或者N‑吡咯酮烷基。该感光树脂可作为光刻胶使用，且耐热稳定性强。

主权项

一种感光树脂，其特征在于，所述感光树脂的化学结构式如下所示：其中，a、b、c为对应单体的摩尔分数，0.1<b<0.5，0<c<0.15，a+b+c＝1，R1、R2、R3、R4均为氢、甲基、或者乙基；R6、R7、R8均为氢或甲基；R9为或R5为腈基，苯基，萘基，带有甲基、乙基、腈基、甲氧基、乙氧基、乙酰氧基的单取代苯基、双取代苯基、或者三取代苯基，带有甲基、乙基、腈基、甲氧基、乙氧基、乙酰氧基的单取代萘基、双取代萘基、或者三取代萘基，9‑咔唑基，1‑吲哚基，1‑吡咯基，或者N‑吡咯酮烷基。