[发明专利]靶材的加工方法在审
| 申请号： | 201610808285.0 | 申请日： | 2016-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN107790745A | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;吴发游 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23B5/00 | 分类号： | B23B5/00;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 高静,吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材的加工方法，包括提供靶材，所述靶材具有待加工面；提供刀具，所述刀具包括刀片，所述刀片上具有排削槽；采用所述刀具对所述待加工面进行车削加工以形成溅射面，车削过程中所产生的废削通过所述刀片上的排削槽排出。本发明技术方案的车削过程中，所产生的废削能够通过所述刀片上的排削槽排出，因此车削过程中所产生的热量能够及时散逸，有利于提高所采用刀具的散热能力，减少热量积聚，有利于降低车削过程中刀具的温度，有利于减少刀片磨损，从而减少了更换刀具的次数，有利于提高加工效率。此外，在靶材溅射面加工过程中，刀具更换次数的减少也能够减少更换刀具之后的对刀次数，从而也有利于提高工艺效率。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材的加工方法，其特征在于，包括：提供靶材，所述靶材具有待加工面；提供刀具，所述刀具包括刀片，所述刀片上具有排削槽；采用所述刀具对所述待加工面进行车削加工以形成溅射面，车削过程中所产生的废削通过所述刀片上的排削槽排出。
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