[发明专利]一种真空用高压连接装置在审
| 申请号： | 201610811194.2 | 申请日： | 2016-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN107808814A | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 李晨冉 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空用高压连接装置，包括金属底座、绝缘陶瓷座、供电端子，所述金属底座能够将整个高压连接装置固定到其他功用零件上，并具有与相应的功用零件相同的电位；所述绝缘陶瓷座能够使金属底座与供电端子的电位隔离开，并具有固定供电端子的作用；所述供电端子能够加载直流和交流的高压电，能够实现真空与大气之间的电位连接。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 高压 连接 装置 | ||
【主权项】：
一种真空用高压连接装置，包括金属底座(1)、绝缘陶瓷座(2)、供电端子(3)，其特征在于：该真空用高压连接装置能够实现真空与大气之间的电位连接，并可实现多路供电输入与输出，供电端子可按一定间距线性排列，也可随机排列。能够避免多路供电之间的高压打火问题。
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