[发明专利]自动调整紫外激光光束位置的装置及其调整方法

摘要

本发明公开了一种自动调整紫外激光光束位置的装置及其调整方法，包括准分子紫外激光器、第一反射镜、电控平移台、第二反射镜、柱面镜、相位掩膜板、光纤和白屏，准分子紫外激光器发出紫外光束，经第一反射镜反射至第二反射镜，经第二反射镜反射至柱面镜，经柱面镜聚焦至相位掩膜板，并入射至光纤，使得紫外光束经光纤后形成细丝衍射，并在白屏上出现条纹，通过CCD摄像机采集白屏上的条纹是否对称，并将CCD摄像机采集到的条纹信息送入计算机，若不对称，计算机反馈一个信号给压电陶瓷，压电陶瓷接收信号并调整第二反射镜，使紫外光束准确的照射在光纤上，使得在白屏上获得的条纹中轴线上下对称。本发明具有精度高、响应快、自动调节等优点。

主权项

一种自动调整紫外激光光束位置的装置，包括准分子紫外激光器（1）、第一反射镜（2）、电控平移台（3）、第二反射镜（5）、柱面镜（6）、相位掩膜板（7）、光纤（8）和白屏（9），其特征在于：还包括压电陶瓷（4）、CCD摄像机（10）和计算机（11），共光轴依次设置第二反射镜（5）、柱面镜（6）、相位掩膜板（7）和白屏（9），第二反射镜（5）通过固定座固定在电控平移台（3）上，第二反射镜（5）上设有压电陶瓷（4），第二反射镜（5）位于第一反射镜（2）的反射光路上，准分子紫外激光器（1）位于第一反射镜（2）的入射光路上，光纤（8）位于相位掩膜板（7）和白屏（9）之间，且紧贴相位掩膜板（7），CCD摄像机（10）对准白屏（9），采集白屏（9）上的条纹信息，CCD摄像机（10）和压电陶瓷（4）分别与计算机（11）连接；准分子紫外激光器（1）发出紫外光束，经第一反射镜（2）反射至第二反射镜（5），经第二反射镜（5）反射至柱面镜（6），经柱面镜（6）聚焦至相位掩膜板（7），并入射至光纤（8），使得紫外光束经光纤（8）后形成细丝衍射，并在白屏（9）上出现条纹，通过CCD摄像机（10）采集白屏（9）上的条纹是否对称，并将CCD摄像机（10）采集到的条纹信息送入计算机（11），若不对称，计算机（11）反馈一个信号给压电陶瓷（4），压电陶瓷（4）接收信号并调整第二反射镜（5），使紫外光束准确的照射在光纤（8）上，使得在白屏（9）上获得的条纹中轴线上下对称。