[发明专利]一种拉晶炉的拉晶机构在审
| 申请号： | 201610814793.X | 申请日： | 2016-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN107805840A | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 张汝京;肖德元;邓先亮;李寅锋;温雅楠 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种拉晶炉的拉晶机构，包括热屏蔽反射器，位于坩埚上方，围绕坩埚形成一个中央开口，使由坩埚内熔体提拉生长的晶锭从所述中央开口穿过；籽晶夹，位于坩埚上方，设有固定结构夹持籽晶；提拉部件，与所述籽晶夹连接，控制所述籽晶夹在由坩埚内熔体提拉生长晶锭的提拉方向上提升或下降；其中，所述籽晶夹具有在垂直所述提拉方向上的横向延伸部分，且所述籽晶夹在垂直于所述提拉方向的平面上的投影覆盖由坩埚内熔体提拉生长的晶锭在所述平面上的投影。本发明的拉晶机构使晶锭顶端的热场更加稳定，明显改善了晶锭前端部分的均匀性和内部缺陷，同时也减少了热量损耗，节约能源，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 拉晶炉 机构 | ||
【主权项】：
一种拉晶炉的拉晶机构，所述拉晶炉包括炉腔和位于炉腔内的坩埚，其特征在于，所述拉晶机构包括：热屏蔽反射器，位于所述坩埚上方，围绕所述坩埚形成一个中央开口，使由所述坩埚内熔体提拉生长的晶锭从所述中央开口穿过；籽晶夹，位于所述坩埚上方，设有固定结构夹持籽晶；提拉部件，与所述籽晶夹连接，控制所述籽晶夹在由所述坩埚内熔体提拉生长晶锭的提拉方向上提升或下降；其中，所述籽晶夹具有在垂直所述提拉方向上的横向延伸部分，且所述籽晶夹在垂直于所述提拉方向的平面上的投影覆盖由所述坩埚内熔体提拉生长的晶锭在所述平面上的投影。
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