[发明专利]蒸镀装置及方法有效
| 申请号： | 201610830421.6 | 申请日： | 2016-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN106567043B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 孙亮 | 申请（专利权）人： | 湖畔光电科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京律远专利代理事务所(普通合伙) 11574 | 代理人： | 丁清鹏 |
| 地址： | 213200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀装置，包括：蒸镀源、蒸镀材料与显示器背板，蒸镀源用于加热蒸镀材料；蒸镀材料设置在蒸镀源的内部；显示器背板为蒸镀材料最终蒸镀到的位置，显示器背板与蒸镀源之间的距离定义为TS距离；其中，蒸镀源的顶部设置有上盖板，上盖板上设置有多个导流气孔，导流气孔用于引导被蒸镀的蒸镀材料运动至显示器背板；多个导流气孔包括：一中心直孔与围绕中心直孔的多圈斜孔，在上盖板上方每圈斜孔均以纵向方向为中心向上盖板方向呈锐角倾斜。本发明还公开了与该蒸镀装置相对应的蒸镀方法。本发明具有材料使用率高、成膜均匀性好且生产成本低的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，其中，包括：蒸镀源、蒸镀材料与显示器背板，所述蒸镀源用于加热所述蒸镀材料；所述蒸镀材料设置在所述蒸镀源的内部；所述显示器背板为所述蒸镀材料最终蒸镀到的位置，所述显示器背板与所述蒸镀源之间的距离定义为TS距离；其中，所述蒸镀源的顶部设置有上盖板，所述上盖板上设置有多个导流气孔，所述导流气孔用于引导被蒸镀的所述蒸镀材料运动至所述显示器背板；多个所述导流气孔包括：一中心直孔与围绕所述中心直孔的多圈斜孔，每圈所述斜孔从所述上盖板上方来看均以纵向方向为中心向所述上盖板方向呈锐角倾斜。
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