[发明专利]离子束照射装置有效
| 申请号： | 201610838817.5 | 申请日： | 2016-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN107104030B | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 高桥直也;藤田秀树;吉村洋祐;酒井滋树 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种离子束照射装置，与以往相比能够使包含在离子束中的不需要的离子减少。该离子束照射装置包括：离子源(2)；质量分离器(3)，从由离子源(2)引出的离子束(IB)中挑选并导出确定的质量和价数的掺杂离子；以及能量过滤器，形成离子束(IB)通过的束通过区域，并且通过被施加过滤器电压(VF)而成为规定的过滤器电位(Vfil)，利用离子的能量差，区分通过所述束通过区域的通过离子和不通过所述束通过区域的非通过离子，以使所述通过离子中包含所述掺杂离子并且使所述非通过离子中包含在质量分离器(3)中不能与所述掺杂离子区分的不需要的离子的至少一部分的方式设定过滤器电位(Vfil)。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 照射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种离子束照射装置，包括：离子源；质量分离器，从由所述离子源引出的离子束中挑选并导出确定的质量和价数的掺杂离子；以及能量过滤器，形成所述离子束通过的束通过区域，并且通过被施加电压而成为规定的过滤器电位，利用离子的能量差，区分通过所述束通过区域的通过离子和不通过所述束通过区域的非通过离子，以使所述通过离子中包含所述掺杂离子并且使所述非通过离子中包含在所述质量分离器中不能与所述掺杂离子区分的不需要的离子的至少一部分的方式设定所述过滤器电位，所述离子束照射装置的特征在于，所述能量过滤器具有三个以上的电极，所述三个以上的电极形成所述离子束通过的开口，并且沿所述离子束的前进方向设置，所述三个以上的电极中的至少一个所述电极成为所述过滤器电位，其它的所述电极成为比所述过滤器电位低的电位，配置在两端的所述电极的电位彼此相等，所述能量过滤器还具有形状控制电极，所述形状控制电极被施加用于控制离子束形状的形状控制电压。
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