[发明专利]化学液存储瓶以及模块化半导体处理设备有效
| 申请号： | 201610838933.7 | 申请日： | 2016-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN107842607B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 温子瑛;王致凯 | 申请（专利权）人： | 无锡华瑛微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | F16J12/00 | 分类号： | F16J12/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 | 代理人： | 杨瑞玲 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学液存储瓶以及模块化半导体处理设备，所述化学液存储瓶包括：形成腔体的存储瓶本体，其包括与所述腔体连通的凸出的瓶口，该瓶口外围有外螺纹；瓶塞，其紧密的塞于瓶口内；瓶盖，其包括顶盖、自所述顶盖的边缘延伸而成的瓶盖侧壁，所述瓶盖侧壁内侧有内螺纹，所述瓶口和瓶盖通过外螺纹和内螺纹配合螺接在一起。与现有技术相比，本发明中的半导体处理设备由几个模块组成，具有结构简单，组装方便灵活，易于更换、便于维修等优点。另外，本发明还提出化学液存储瓶，其能够承受较高的压力，制造成本低，可以使所述化学液存储瓶中的液体在隔绝大气的状态下被在线使用。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 存储 以及 模块化 半导体 处理 设备 | ||
【主权项】：
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