[发明专利]一种全息光栅阵列的制作装置

摘要

本发明公开了一种全息光栅阵列的制作装置，包括光源、准直镜、光阑、快门、分束镜、两面反射镜、光栅基板和移动平台，其中光源采用激光二极管，光源、准直镜和光阑沿光束前进的方向依次共轴排列，分束镜设置在光束经过光阑后的光路上，分束镜用于将光束反射为两光束，快门设置在光源与分束镜之间且与光束同轴；两面反射镜分别设置在经分束镜反射后的两光束的光路上，两面反射镜以分束镜为轴轴对称设置，光栅基板安装在移动平台上，且光栅基板位于干涉场。本发明提出的全息光栅阵列的制作装置，制作的全息光栅阵列可以应用于一维光栅尺，并大大降低了光源的成本，简化了结构、体积也大大减小。

主权项

1.一种全息光栅阵列的制作装置，其特征在于，包括光源、准直镜、光阑、快门、分束镜、两面反射镜、光栅基板和移动平台，其中所述光源采用激光二极管，所述光源、所述准直镜和所述光阑沿光束前进的方向依次共轴排列，所述分束镜设置在所述光束经过所述光阑后的光路上，所述分束镜用于将所述光束反射为两光束，所述快门设置在所述光源与所述分束镜之间且与所述光束同轴；两面所述反射镜分别设置在经所述分束镜反射后的两光束的光路上，两面所述反射镜以所述分束镜为轴轴对称设置，所述光栅基板安装在所述移动平台上，且所述光栅基板位于干涉场；所述光阑的孔径D满足关系式：2gLc/λ＜D/cosθ，所述反射镜的宽度L满足关系式：L>D/sin(67.5°‑θ/2)，其中：g为光栅周期，λ为所述光源的波长，Lc为所述激光二极管的相干长度，θ为射在所述光栅基板上的双光束之间的夹角的一半。