[发明专利]一种MEMS器件及其制备方法和电子装置在审
| 申请号： | 201610841493.0 | 申请日： | 2016-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN107857232A | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 张先明;豆峰 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所11336 | 代理人： | 高伟,冯永贞 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS器件及其制备方法和电子装置。所述方法包括提供第一晶圆，在所述第一晶圆上形成有目标厚度的热氧化物材料层；图案化所述第一晶圆和所述热氧化物材料层，以在所述第一晶圆中形成空腔；提供第二晶圆并将所述第二晶圆与所述热氧化物材料层相接合，以密闭所述空腔。本发明的优点在于(1)具有良好的接合质量。(2)不会发生晶圆碎裂的问题。(3)更加有利于研磨后的湿法蚀刻工艺。(4)更加适于量产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 器件 及其 制备 方法 电子 装置 | ||
【主权项】：
一种MEMS器件的制备方法，其特征在于，所述方法包括：提供第一晶圆，在所述第一晶圆上形成有目标厚度的热氧化物材料层；图案化所述第一晶圆和所述热氧化物材料层，以在所述第一晶圆中形成空腔；提供第二晶圆并将所述第二晶圆与所述热氧化物材料层相接合，以密闭所述空腔。
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