[发明专利]晶圆盒清洗装置在审
| 申请号： | 201610842248.1 | 申请日： | 2016-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN107866426A | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 颜锡铭 | 申请（专利权）人： | 锡宬国际有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/20 | 分类号： | B08B9/20 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆盒清洗装置，用于清洗一晶圆盒，该晶圆盒包括一本体以及一盖体，该晶圆盒清洗装置包括一基座以及一上盖部。该晶圆盒固定于该基座上。该上盖部设置于该基座上方之侧边，该基座以及该上盖部共同形成一腔体，该腔体用于容纳该晶圆盒，该上盖部用于分离该本体以及该盖体。该晶圆盒清洗装置能增进清洗晶圆盒之效率。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆盒 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种晶圆盒清洗装置，用于清洗一晶圆盒，该晶圆盒包括一本体以及一盖体，其特征在于，该晶圆盒清洗装置包括：一基座，该晶圆盒固定于该基座上；以及一上盖部，设置于该基座上方之侧边，该基座以及该上盖部共同形成一腔体，该腔体用于容纳该晶圆盒，该上盖部用于分离该本体以及该盖体。
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