[发明专利]动态随机存取存储器元件

摘要

本发明公开一种动态随机存取存储器元件，包含基底、多个字符线与多个位线。字符线是设置在基底的第一沟槽内并沿着第一方向延伸。各字符线包含一阻障层，其中该阻障层具有一复合层结构包含TiSi_xN_y，该复合层结构的底部的硅含量较高且该复合层结构的顶部的氮含量较高。位线则是设置在字符线上且沿着第二方向延伸，而第二方向则是横跨第一方向。

主权项

1.一种随机动态处理存储器元件，其特征在于包含：多个字符线，设置在一基底的一第一沟槽内并沿着一第一方向延伸，各该字符线包含阻障层，其中该阻障层具有复合层结构，该复合层结构包含TiSi_xN_y，x和y皆为大于零的常数，在该复合层结构的底部，x大于y；而在该复合层结构的顶部，x小于y；以及多个位线，设置在该些字符线上且沿着一第二方向延伸，该第二方向横跨该第一方向。