[发明专利]压电驱动装置及其制造方法、马达、机器人以及泵在审
| 申请号： | 201610851955.7 | 申请日： | 2016-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN107017334A | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | 小西晃雄;梶野喜一;古谷升 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/09;H01L41/47 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 舒艳君,李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供压电驱动装置及其制造方法、马达、机器人以及泵。压电驱动装置包含基板；压电元件，其具有设置于上述基板上的第一电极、设置于上述第一电极上的压电体层、设置于上述第一压电体层上的第二电极；在俯视面中沿上述基板的外周设置且与上述第一电极电连接的含铜的层；以及以覆盖上述含铜的层的方式设置的含镍和磷的导电层。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 驱动 装置 及其 制造 方法 马达 机器人 以及 | ||
【主权项】：
一种压电驱动装置，其特征在于，包含：基板；压电元件，其具有设置于所述基板上的第一电极、设置于所述第一电极上的压电体层、以及设置于所述第一压电体层上的第二电极；在俯视面中沿所述基板的外周设置且与所述第一电极电连接的含铜的层；以及以覆盖所述含铜的层的方式设置的含镍和磷的导电层。
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