[发明专利]压电薄膜、压电薄膜元件、压电致动器、压电传感器、硬盘驱动器以及喷墨打印头有效
| 申请号： | 201610852628.3 | 申请日： | 2016-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN106972097B | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 广瀬维子;大槻史朗 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;黄浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种能够抑制加工过程中的损害的压电薄膜、以及具备所述压电薄膜的具有高可靠性的压电薄膜元件。在将(K,Na)NbO3作为主成分的压电薄膜中，在规定范围的观察视野内观察所述压电薄膜的表面，在此情况下在所述压电薄膜表面上排列有沿着该表面朝向第1方向具有细长形状的多个第1结晶、沿着所述表面朝向与所述第1方向相交叉的第2方向具有细长形状的多个第2结晶。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 元件 致动器 传感器 硬盘驱动器 以及 喷墨 打印头 | ||
【主权项】：
1.一种压电薄膜，其特征在于：在将(K,Na)NbO3作为主成分的压电薄膜中，在规定范围的观察视野内观察所述压电薄膜的表面的情况下，在所述压电薄膜的表面上排列有沿着该表面朝向第1方向具有细长形状的多个第1结晶、沿着所述表面朝向与所述第1方向相交叉的第2方向具有细长形状的多个第2结晶，所述第1结晶的长边长度的平均值和所述第2结晶的长边长度的平均值均为2μm以下。
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