[发明专利]一种表面缺陷检测系统及方法有效
| 申请号： | 201610857428.7 | 申请日： | 2016-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN106645161B | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 杨艺;邹美芳;赵严 | 申请（专利权）人： | 凌云光技术集团有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 11363 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 100094 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种表面缺陷检测系统及方法，包括彩色成像装置和至少两个光源，其中，所述光源分别设置在检测目标各个检测区域所对应的位置，以相应的入射角度，照射对应的检测区域；所述光源的波长不相同，所述光源的入射角度不相同；彩色成像装置接收各个光源在对应检测区域的反射光，以根据不同波长的反射光对检测目标成像。通过设置不同波长、不同入射角度的光源，彩色成像装置能够同时获得检测目标所有检测区域的图像，从而同时对多个检测区域进行表面缺陷检测，通过一次成像和一套系统即可完成表面缺陷检测，有效提高表面缺陷检测效率，降低成本；而且，根据表面缺陷所在的光谱区域，进一步确定表面缺陷位置，方便表面缺陷的统计分析。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 缺陷 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种表面缺陷检测系统，其特征在于，包括彩色成像装置和至少两个光源，其中：/n所述光源分别设置在检测目标各个检测区域所对应的位置，以相应的入射角度，照射对应的检测区域；/n所述光源的波长不相同，所述光源的入射角度不相同；/n所述检测区域两两之间的类型不同，或者，两两之间的表面状态不同；其中，所述类型包括平面检测区域、斜坡检测区域、球面凸起检测区域及球面凹坑检测区域；所述表面状态包括斜坡倾斜角、球面凸起程度、球面凹坑程度；/n所述检测目标的表面由平面检测区域和若干个斜坡检测区域构成，或由若干个不同倾斜角的斜坡检测区域构成；/n在平面检测区域对应位置设置第一波长的平面检测光源，所述平面检测光源的第一入射角度为锐角，其中所述第一入射角度为平面检测光源的入射光线与检测目标轴线之间的夹角；/n在斜坡检测区域对应位置设置第二波长的斜坡检测光源，所述斜坡检测光源的第二入射角度为根据斜坡倾斜角确定的角度，其中所述第二入射角度为斜坡检测光源的入射光线与检测目标轴线之间的夹角；不同斜坡倾斜角的斜坡检测区域对应斜坡检测光源的第二波长不相等，且不同斜坡倾斜角的斜坡检测区域对应斜坡检测光源的第二入射角度不相等；/n彩色成像装置接收各个光源在对应检测区域的反射光，以根据不同波长的反射光对检测目标成像。/n
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