[发明专利]一种用于ITO-Ag-ITO导电薄膜的低黏度蚀刻液及其制备方法有效
| 申请号： | 201610860875.8 | 申请日： | 2016-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN106479504B | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 胡涛;倪芸岚;高立江;邢攸美;龚升;尹云舰;方伟华 | 申请（专利权）人： | 杭州格林达电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06 |
| 代理公司： | 杭州赛科专利代理事务所(普通合伙) 33230 | 代理人： | 冯年群 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市萧*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于ITO‑Ag‑ITO导电薄膜的低黏度蚀刻液及其制备方法，其重量百分比组成如下：硝酸5～15％，硫酸5～15％，醋酸5～25％，添加剂0.01～1％，余量为水，所述添加剂为碱金属盐。该蚀刻液的制备方法为:按比例依次将电子级硫酸、电子级硝酸和电子级醋酸加入到混配釜中，然后加入添加剂和余量高纯水，搅拌循环后过滤。该蚀刻液蚀刻能力强，蚀刻精度高无残留。该蚀刻液以硫酸为原料，不含磷酸，蚀刻液黏度低，蚀刻过程中药液带出量少，蚀刻液寿命长，有利于降低蚀刻液的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻液 蚀刻 制备 添加剂 低黏度 硫酸 醋酸 电子级醋酸 电子级硫酸 电子级硝酸 重量百分比 导电薄膜 过程中药 碱金属盐 黏度 高纯水 含磷酸 能力强 无残留 硝酸 混配 液带 过滤 | ||
【主权项】：
1.一种用于ITO‑Ag‑ITO导电薄膜的低黏度蚀刻液，其特征在于：其重量百分比组成如下： 硝酸8~15%，硫酸5~15%，醋酸5%或15‑20%，添加剂0.01~1%，余量为水，所述添加剂选自硝酸锂、醋酸锂、硝酸钠、醋酸钠、磷酸钠、磷酸二氢钠、磷酸钾、醋酸钾、硫酸钾、磷酸二氢钾和焦磷酸钾中的任意一种。
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