[发明专利]基板保持旋转装置、基板处理装置以及基板处理方法

摘要

本发明的基板保持旋转装置包括：施力单元，将各可动销的所述支撑部置于所述保持位置，驱动用磁石，与各可动销对应地安装，开放磁石，以非旋转状态设置，并形成磁场产生区域，所述磁场产生区域是随着所述旋转台的旋转而旋转的各可动销所能够通过的规定的磁场产生区域，并被设置为沿着所述旋转台的旋转方向错开且仅使与多个可动销中的一部分可动销对应的驱动用磁石能够通过，并且所述开放磁石向通过该磁场产生区域的所述可动销的驱动用磁石赋予斥力或引力，在由所述施力单元按压至所述保持位置的该可动销的所述支撑部产生反抗该按压力而指向所述开放位置的力。

主权项

一种基板保持旋转装置，其中，包括：旋转台，旋转驱动单元，使所述旋转台绕沿铅垂方向的旋转轴线旋转，多个可动销，用于将基板支撑为水平姿势，具有以能够在远离所述旋转轴线的开放位置和靠近所述旋转轴线的保持位置之间移动的方式设置的支撑部，而且所述可动销与所述旋转台一同绕所述旋转轴线旋转，施力单元，将各可动销的所述支撑部向所述保持位置施力，驱动用磁石，与各可动销对应地安装，开放磁石，以非旋转状态设置，形成磁场产生区域，所述磁场产生区域是随着所述旋转台的旋转而旋转的各可动销所能够通过的规定的磁场产生区域，所述磁场产生区域被设置为相对所述旋转台的旋转方向偏离且仅使与多个可动销中的一部分可动销对应的驱动用磁石能够通过，所述开放磁石向通过该磁场产生区域的所述可动销的驱动用磁石赋予斥力或引力，在被所述施力单元向所述保持位置受力的该可动销的所述支撑部产生克服该施力的指向所述开放位置的力。