[发明专利]一种谐振式液体振镜及其驱动方法有效
申请号: | 201610866543.0 | 申请日: | 2016-09-29 |
公开(公告)号: | CN106324827B | 公开(公告)日: | 2019-03-12 |
发明(设计)人: | 杨兰兰;屠彦;张雄;杨柳青;王莉莉;石在耀 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | G02B26/00 | 分类号: | G02B26/00 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 210088 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种谐振式液体振镜及其驱动方法,谐振式液体振镜由下透明基板(1)和上透明基板(2)及侧壁(3)构成中空腔体里封闭有不相溶的导电性或极性液体(4)和不导电的非极性液体或气体(5);在下透明基板上设有透明平行对电极即左电极(6A)和右电极(6B),在对电极对上依次制作有绝缘介质层(7)、疏水层(8)、绝缘性圆环(9),导电性或极性液体位于疏水层上,将导电性或极性液体钉扎于中空腔体的中心,导电性或极性液体构成的液滴在下方左电极和右电极上投影分布的面积相同;带有偏压的相位相差为180度的交流电压分别施加在平行对电极上,交流电压的频率的两倍与液滴的固有振动频率一致,使两者发生谐振,液滴达到可重复的最大的振动状态。 | ||
搜索关键词: | 导电性 极性液体 对电极 谐振式 液滴 振镜 交流电压 中空腔体 疏水层 右电极 左电极 平行 固有振动频率 非极性液体 绝缘介质层 上透明基板 下透明基板 驱动 谐振 透明基板 相位相差 振动状态 不导电 不相溶 绝缘性 可重复 侧壁 钉扎 圆环 投影 施加 透明 封闭 制作 | ||
【主权项】:
1.一种谐振式液体振镜,其特征是:由下透明基板(1)和上透明基板(2)及侧壁(3)构成中空腔体里封闭有不相溶的导电性或极性液体(4)和不导电的非极性液体或气体(5);在下透明基板(1)上制作有透明平行对电极即左电极(6A)和右电极(6B),在对电极对上依次制作有绝缘介质层(7)和疏水层(8),导电性或极性液体(4)位于疏水层(8)上,在疏水层(8)上制作有绝缘性圆环(9)将导电性或极性液体(4)钉扎于中空腔体的中心,即平行对电极的中心对称轴线上;导电性或极性液体(4)构成的液滴在下方左电极和右电极上投影分布的面积相同;带有偏压的相位相差为180度的交流电压分别施加在平行对电极上,交流电压的频率的两倍与液滴的固有振动频率一致,使两者发生谐振,液滴达到可重复的最大的振动状态;所述的对电极,制作在对向的侧壁上,即在相对面的两侧壁上制作有透明或不透明的左侧电极(10A)和右侧电极(10B),在左侧电极(10A)和右侧电极(10B)上分别制作绝缘介质层和疏水层。
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