[发明专利]一种对MEMS微结构进行非接触式水中激励的激波激励装置

摘要

本发明公开了一种对MEMS微结构进行非接触式水中激励的激波激励装置，包括基板，在基板上对称设有二个电动滑台并在二个电动滑台之间设有水箱单元和支座，在电动滑台上分别通过手动双轴位移台对称安装有针电极单元，针电极单元分别悬垂到水箱单元的箱体内；在支座上安装有微结构单元，微结构单元悬垂到水箱单元的箱体内；二个针电极单元的针电极分别与高压电容的两极电联接，在高压电容与一个针电极之间设有第一空气开关；所述高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极，并通过第二空气开关控制通断。该装置不仅能够实现在水中对MEMS微结构进行激励，而且能够避免底座结构的振动响应对测试结果的干扰，实现了对MEMS微结构的非接触式激励，激励效果好。

主权项

一种对MEMS微结构进行非接触式水中激励的激波激励装置，包括基板，其特征是：在基板上两侧对称设有二个电动滑台，并在二个电动滑台之间设有水箱单元和支座，在电动滑台上分别设有手动双轴位移台，在二个手动双轴位移台的Z轴溜板上分别通过一个悬垂支架对称安装有针电极单元，针电极单元分别悬垂到水箱单元的箱体内且水平布置；所述针电极单元包括与悬垂支架下端可拆卸连接的安装套，在安装套前端孔内插接有绝缘套，在绝缘套内设有针电极；二个针电极单元的针电极针尖相对，用于通电后放电使二个针电极之间间隙被击穿，从而产生激波；在支座上通过一个悬垂吊架安装有微结构单元，微结构单元悬垂到水箱单元的箱体内且位于二个针电极单元的针电极上方；该微结构单元包括与悬垂吊架下端连接的固定板，在固定板的中心设有阶梯状安装孔，在安装孔内的环形阶梯面上可拆卸安装有微结构安装板，在微结构安装板上粘接MEMS微结构；二个针电极单元的针电极分别与高压电容的两极电联接，在高压电容与一个针电极之间设有第一空气开关；所述高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极，并通过第二空气开关控制通断。