[发明专利]一种用于MEMS微结构动态特性测试的聚焦激波激励装置

摘要

本发明公开了一种用于MEMS微结构动态特性测试的聚焦激波激励装置，包括基板、手动三轴位移台和支座，在手动三轴位移台的Z轴溜板上设有微结构单元；在支座上端设有内腔为半个椭球面的椭球腔体，椭球面的第一焦点位于椭球腔体内；在椭球腔体两侧对称设有二个针电极单元；二个针电极针尖位于第一焦点横截面上且指向第一焦点；MEMS微结构位于椭球面第二焦点处；二个针电极分别与高压电容的两极电联接，在一个针电极和高压电容之间设有第一空气开关；高压电容两极分别电联接至高压电源并通过第二空气开关控制通断。优点是：能够避免底座结构的振动响应对测试结果的干扰，实现了对MEMS微结构的非接触式激励，激励效果好，便于测试微结构的动态特性参数。

主权项

1.一种用于MEMS微结构动态特性测试的聚焦激波激励装置，包括基板，在基板上设有手动三轴位移台和支座，其特征是：在手动三轴位移台的Z轴溜板上设有微结构单元；所述微结构单元包括一个安装套，在安装套内设有阶梯状第一安装孔，在第一安装孔内底部通过微结构安装板安装有MEMS微结构；在第一安装孔外端口处通过压板压装有光学玻璃板；在支座上端设有椭球腔体，椭球腔体的内腔为半个椭球面，该椭球面的第一焦点位于椭球腔体内；在椭球腔体两侧对称设有二个针电极单元，每个针电极单元包括分别固定在椭球腔体上且依次嵌套的轴套、弹簧安装座和外套，在外套内设有滑动套，滑动套外缘为阶梯轴状且前端由弹簧安装座和轴套的中心孔穿出并插入到椭球腔体内腔，在滑动套前端中心孔内设有外部套有绝缘套的针电极；在弹簧安装座外端止口与滑动套之间设有复位弹簧，在外套中心处通过螺纹连接有调节螺杆，调节螺杆前端顶靠在滑动套外端，用于调节针电极的轴向位置；二个针电极单元的针电极针尖位于椭球面第一焦点的横截面上且指向椭球面的第一焦点；所述MEMS微结构位于椭球腔体内腔开口一侧椭球面的第二焦点处；二个针电极单元的针电极分别与高压电容的两极电联接，在一个针电极和高压电容之间设有第一空气开关控制通断；所述高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极，并通过第二空气开关控制通断。