[发明专利]一种拉晶炉在审
| 申请号： | 201610874607.1 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN107881553A | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 张汝京;肖德元 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/32 | 分类号： | C30B15/32;C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 余昌昊 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种拉晶炉，包括一用于装纳熔融硅料的坩埚；一可于所述坩埚上方上下移动的籽晶夹头；一位于所述坩埚上方的热屏，所述热屏具有一开口；其中，所述籽晶夹头在垂直于其移动方向上的最大截面尺寸为所形成的晶棒于同一方向上的最大截面尺寸的0.8～1.2倍。本发明提供的拉晶炉中，由于用于加持籽晶的籽晶夹头的尺寸与所形成的晶棒的晶体尺寸差异较小，从而在生长晶体的初始阶段，可减小所形成的晶体经由热屏的开口暴露出的面积，进而可有效抑制了热量的大量散失，抑制了所形成的晶冠以及靠近晶冠的晶体中缺陷的形成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 拉晶炉 | ||
【主权项】：
一种拉晶炉，包括：一坩埚，所述坩埚用于装纳熔融硅料；一籽晶夹头，所述籽晶夹头用于夹持用来生长晶棒的籽晶，所述籽晶夹头可于所述坩埚的上方上下移动；一热屏，所述热屏位于所述坩埚上方并具有一开口，在长晶工艺过程中所述籽晶向下移动并经由所述开口与所述坩埚中的熔融硅料接触，以及所形成的晶棒经由所述开口拉出；其特征在于，所述籽晶夹头在垂直于其移动方向上的最大截面尺寸为所形成的晶棒于同一方向上的最大截面尺寸的0.8～1.2倍。
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