[发明专利]分色器结构及其制造方法、图像传感器及光学设备有效
申请号: | 201610875262.1 | 申请日: | 2016-09-30 |
公开(公告)号: | CN107037519B | 公开(公告)日: | 2020-10-20 |
发明(设计)人: | 金一焕;金度润 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20;H01L27/146 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 翟然 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了分色器结构、制造分色器结构的方法、包括分色器结构的图像传感器、制造图像传感器的方法和包括图像传感器的光学设备。分色器可包括多个分色器元件,配置为根据波长将入射光分成多个出射光,并且分色器元件的至少一个可包括:第一元件部分;第二元件部分,设置为相对于第一元件部分偏移以部分地与第一元件部分重叠;以及蚀刻停止层,提供在第一和第二元件部分之间。 | ||
搜索关键词: | 分色 结构 及其 制造 方法 图像传感器 光学 设备 | ||
【主权项】:
一种分色器,包括:多个分色器元件,配置为根据波长将入射光分成多个出射光,其中该分色器元件的至少一个包括:第一元件部分;第二元件部分,设置为相对于该第一元件部分偏移以与该第一元件部分部分地重叠;以及蚀刻停止层,提供在该第一元件部分和第二元件部分之间。
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