[发明专利]关于两个轴线振荡并且具有位置检测系统的特别是压阻型的MEMS器件有效
| 申请号： | 201610875661.8 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN107265387B | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | M·默利;R·卡尔米纳蒂;M·罗西 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;B81B3/00;G01B7/30 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | MEMS器件(40)具有经由被配置为支持平台关于第一轴线(A)的旋转的弹性连接元件(46)由框架(48)承载的平台(45)。承载结构(41)通过被配置为支持框架(48)关于横向于第一轴线(A)的第二轴线(B)的旋转的第一和第二弹性悬挂臂来支撑框架(48)。弹性悬挂臂(49)通过被布置成关于第二轴线(B)偏移的相应锚固部分(50)而被锚固到承载结构(41)。应力传感器(51、52)由第一和第二传感器元件(51、52)形成，其相应地被布置在关于第一轴线(A)对称位置中的第二轴线(B)的相同侧上的锚固部分附近的第一和第二悬挂臂(49)上。 | ||
| 搜索关键词： | 锚固 承载结构 弹性悬挂 弹性连接元件 位置检测系统 第二传感器 应力传感器 对称位置 支撑框架 支持平台 偏移 悬挂臂 压阻型 振荡 地被 配置 承载 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS器件(40；140)，包括：平台(45)；框架(48)，其通过弹性连接元件(46)来支撑所述平台，所述弹性连接元件(46)被配置成允许所述平台关于第一轴线(A)的旋转；承载结构(41)，其通过弹性悬挂元件(49；149；249)来支撑所述框架(48)，所述弹性悬挂元件(49；149；249)被配置成允许所述框架(48)关于横向于所述第一轴线(A)的第二轴线(B)的旋转；以及应力传感器(51、52)，其被布置在所述弹性悬挂元件(49；149；249)上，所述弹性悬挂元件(49；149；249)通过关于所述第二轴线(B)被偏移布置的相应锚固部分(50)而被锚固到所述承载结构(41)，其中所述弹性悬挂元件具有蛇形形状，所述蛇形形状包括平行于所述第二轴线延伸的蛇形梯元件，所述蛇形梯元件通过平行于所述第一轴线延伸的蛇形连接器元件来被连接，其中所述蛇形梯元件与所述蛇形连接器元件相比具有更大的最大长度。
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