[发明专利]电子束物理气相沉积用氧化锆基陶瓷靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201610875896.7 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN106518065B | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 何箐;邹晗;吕玉芬;王世兴;王伟平 | 申请（专利权）人： | 中国农业机械化科学研究院;北京金轮坤天特种机械有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/49 | 分类号： | C04B35/49;C04B35/622;C04B35/634;B28B3/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;鲍俊萍 |
| 地址： | 100083 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种电子束物理气相沉积用氧化锆基陶瓷靶材，包含Y2O3及ZrO2，按靶材重100％计，Y2O3含量为6～9wt％；靶材的制备方法包括：分别称所述的原料粉末；将称取的各原料粉末部分在500～700℃下烘干10～12h，获得原始细粉A，平均粒径为10～30nm；将称取的各原料粉末部分在1400～1500℃下烘干1～2h，获得粗颗粒粉末B，平均粒径为400～1500nm；将粗颗粒粉末B及原始细粉A按照质量比为9：1～1:1的比例混合，并添加粗颗粒粉末B和原始细粉A的总质量的1～5％的聚乙烯醇，进行离心喷雾干燥造粒处理，获得球形团聚粉末C；将球形团聚粉末C在80～100℃条件下烘干60～120min，放入氯丁橡胶套中振实；在100～150MPa、10～40min或150～200MPa、5～10min条件下压制成型，获得陶瓷压坯；将陶瓷压坯在1100～1300℃下烧结5～15h，制成靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 物理 沉积 氧化锆 陶瓷 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电子束物理气相沉积用氧化锆基陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：称取原料粉末，所述原料粉末包含：Y2O3及ZrO2，按氧化锆基陶瓷靶材重100％计，Y2O3含量为6～9wt％；步骤二：将步骤一中称取的各原料粉末部分在500～700℃下烘干10～12h，获得原始细粉A，原始细粉A的平均粒径为10～30nm；将步骤一中称取的各原料粉末部分在1400～1500℃下烘干1～2h，获得粗颗粒粉末B，粗颗粒粉末B的平均粒径为400～1500nm；步骤三：将粗颗粒粉末B及原始细粉A按照质量比为9：1～1:1的比例混合，并添加粗颗粒粉末B和原始细粉A的总质量的1～5％的聚乙烯醇作为粘结剂，进行离心喷雾干燥造粒处理，获得球形团聚粉末C；步骤四：将球形团聚粉末C在80～100℃条件下烘干60～120min，放入氯丁橡胶套中，在振动频率10～30Hz，振动时间60～180s条件下振实；步骤五：将振实后的球形团聚粉末C在100～150MPa、10～40min或150～200MPa、5～10min条件下压制成型，获得陶瓷压坯；步骤六：将陶瓷压坯在1100～1300℃下烧结5～15h，制成电子束物理气相沉积用靶材。
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