[发明专利]一种光学测量装置和方法

摘要

本发明提供了一种光学测量装置和方法，在其中的位置测量装置中设置了可以测量光学检测模块、基板载台在移动过程中产生的倾斜量的装置，根据该倾斜量数据结合光学检测模块、基板载台的位移与所在的位置坐标进行计算并修正，在测量基板上某一点时，使用上述装置和方法对该点测得的相关数据进行修正，提高了测量的精准度，这样就解决了在测量大尺寸基板时带来的大误差的问题。此外，本发明提供的基板上设置了扫描向基准板和非扫描向基准板以及胶厚基准板、线宽基准板，可便于设备自身进行自动校准，提高了便利性。

主权项

1.一种光学测量装置，其特征在于，包括一基板载台，用于放置基板；一光学检测载台框架，从所述基板载台一侧延伸至相对的一侧，所述光学检测载台框架上承载有一光学检测滑块，可沿所述光学检测载台框架滑动；一光学检测单元，固定在所述光学检测滑块上，随着所述光学检测滑块沿所述光学检测载台框架移动，所述光学检测单元包括标记位置测量模块；一基板载台位置测量模块，用于测量所述基板载台的位置；一光学检测单元位置测量模块，用于测量所述光学检测单元的位置；以及校正模块，根据所述基板载台的位置和所述光学检测单元的位置获得所述基板载台和所述光学检测单元运动所引起的标记位置测量偏差，之后对所述标记位置测量模块测得的标记位置进行校正；所述基板载台上还布设有带校准标记的基准板，所述带校准标记的基准板包括横向基准板和与所述横向基准板垂直的纵向基准板，所述横向基准板沿所述基板载台X向布置，用于校准所述光学检测单元沿X向运动时所述基板相对所述光学检测单元的Y向位置偏差，所述纵向基准板沿所述基板载台Y向布置，用于校准所述基板载台沿Y向运动时所述基板相对所述光学检测单元的X向位置偏差。