[发明专利]振动控制设备、光刻设备以及制造物品的方法在审
| 申请号： | 201610877931.9 | 申请日： | 2016-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN106569516A | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 绳田亮;野田宪司 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G05D19/02 | 分类号： | G05D19/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 贾金岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种振动控制设备、具有该振动控制设备的光刻设备及制造物品的方法，振动控制设备控制经由具有衰减系数的支撑件支撑的物体的振动，振动控制设备包括驱动装置，配置为驱动物体；和控制器，配置为基于物体的振动的信息执行驱动装置的负反馈控制，其中，控制器配置为基于物体的速度的信息执行驱动装置的正反馈控制，以根据所述速度减小所述支撑件导致的、作用在所述物体上的力。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 控制 设备 光刻 以及 制造 物品 方法 | ||
【主权项】：
一种振动控制设备，所述振动控制设备控制经由具有衰减系数的支撑件支撑的物体的振动，所述振动控制设备包括：驱动装置，所述驱动装置配置为驱动所述物体；以及控制器，所述控制器配置为基于所述物体的振动的信息执行驱动装置的负反馈控制，其中，所述控制器配置为基于所述物体的速度的信息执行驱动装置的正反馈控制，以根据所述速度减小所述支撑件导致的、作用在所述物体上力。
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