[发明专利]垂直存储器件

摘要

本公开提供了垂直存储器件。一种垂直存储器件包括：基板；多个沟道，在基板上并在垂直于基板的顶表面的第一方向上延伸；多条栅线，在基板上层叠在彼此之上；多条布线，在栅线上方并电连接到栅线；以及识别图案，在基板上处于与布线中的至少一条的层级相同的层级。栅线围绕沟道。栅线沿着第一方向彼此间隔开。

主权项

一种垂直存储器件，包括：基板；在所述基板上的多个沟道，所述沟道在垂直于所述基板的顶表面的第一方向上延伸；多条栅线，在所述基板上层叠在彼此之上，所述栅线围绕所述沟道，所述栅线沿着所述第一方向彼此间隔开；多条布线，在所述栅线上方并电连接到所述栅线；以及识别图案，在所述基板上处于与所述布线中的至少一个的层级相同的层级。