[发明专利]新型X射线成像技术在审
| 申请号： | 201610883673.5 | 申请日： | 2016-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN106940323A | 公开（公告）日： | 2017-07-11 |
| 发明（设计）人： | B.布伊斯;F.鲍霍贝尔 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 孙鹏,陈岚 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 新型X射线成像技术。一种使用X射线成像装置对样品进行成像的方法，包括以下步骤—在样品保持器上提供样品；—引导来自源的一定通量的X射线通过样品且到X射线照相机上，该方法另外包括以下步骤—将源具体实施为部件源的集群，相对于样品而言具有受限的角跨度；—使用所述照相机来从所述部件源记录累积合成图像；—以数学方式对所述合成图像解卷积。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 射线 成像 技术 | ||
【主权项】：
一种使用X射线成像装置对样品进行成像的方法，包括以下步骤：—在样品保持器上提供样品；—引导来自源的一定通量的X射线通过样品且到X射线照相机上，其特征在于以下步骤：—将源具体实施为部件源的集群，相对于样品而言具有受限的角跨度；—使用所述照相机来从所述部件源记录累积合成图像；—以数学方式对所述合成图像解卷积。
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