[发明专利]单压电片执行器阵列驱动的变形镜有效
申请号: | 201610885659.9 | 申请日: | 2016-10-11 |
公开(公告)号: | CN106646858B | 公开(公告)日: | 2019-09-03 |
发明(设计)人: | 马剑强;章家连;朱正雄;田雷;喻奇志;李艳 | 申请(专利权)人: | 宁波大学 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08 |
代理公司: | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人: | 黄芳 |
地址: | 315211 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种单压电片执行器阵列驱动的变形镜,包括单压电片执行器阵列、设置在单压电片执行器阵列上方的镜面,单压电片执行器阵列包括多个固定于带通孔的基座上的单压电片执行器,每个单压电片执行器上均连接有支撑镜面用的连接柱,每个单压电片执行器包括弹性层和压电层,压电层的两面均覆盖有尺寸略小于压电层尺寸的电极层。本发明的单压电片执行器具有行程大、成本低的优点,产生的位移通过连接柱传递给镜面,使整个变形镜具有行程大、低成本的优点。 | ||
搜索关键词: | 压电片 器阵列 镜面 变形镜 压电层 连接柱 驱动 弹性层 低成本 电极层 带通 传递 支撑 覆盖 | ||
【主权项】:
1.单压电片执行器阵列驱动的变形镜,其特征在于:包括单压电片执行器阵列、设置在单压电片执行器阵列上方的镜面,单压电片执行器阵列包括多个固定于带通孔的基座上的单压电片执行器,每个单压电片执行器上均连接有支撑镜面用的连接柱,每个单压电片执行器包括弹性层和压电层,压电层的两面均覆盖有尺寸略小于压电层尺寸的电极层,每个单压电片执行器下面均对应一个通孔并且同心设置,通过弹性层固定于基座上,弹性层的直径略大于通孔直径,压电层覆盖有上电极层和下电极层,下电极层与弹性层是连通的,各个电极接在一起,上电极层通过基座的通孔引出,各个电极分别控制。
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