[发明专利]一种同时检测温度和应变信号的传感器

摘要

本发明是一种同时检测温度和应变信号的传感器，包括金属薄膜层Ⅰ(2)，功能薄膜层(3)，栅状线条(4)和金属薄膜层Ⅱ(5)，所述金属薄膜层Ⅰ(2)，功能薄膜层(3)，栅状线条(4)和金属薄膜层Ⅱ(5)以层叠方式集成，其特征在于：所述金属薄膜层Ⅰ(2)与金属薄膜层Ⅰ(3)一面层叠相连，金属薄膜层Ⅱ(5)与栅状线条(4)同一面的两端分别层叠相连，通过金属薄膜层Ⅰ(2)上的信号引出线Ⅰ(6)和金属薄膜层Ⅱ(5)上的信号引出线Ⅱ(6)可以取出温度信号，通过金属薄膜层Ⅱ(5)上的信号引出线Ⅱ(7)和信号引出线Ⅲ(8)可以进行应变信号的测量。所述一种可以同时检测温度和应变信号的传感器在基体(1)表面可以呈阵列式排列。本发明能用于航空结构件表面，具有高度集成化，小型化和精确化。

主权项

1.一种同时检测温度和应变信号的传感器，其特征在于：该传感器包括贴覆在待测零件表面(1)上的具有导电功能的金属薄膜层Ⅰ(2)，金属薄膜层Ⅰ(2)上带一根信号引出线Ⅰ(6)；在金属薄膜层Ⅰ(2)的上面贴覆一层对温度信号敏感的功能薄膜层(3)，所述功能薄膜层(3)的材料是镍铬、镍硅、铂铑13、铂、铂铑10、铂铑30、铂铑6、康铜或铜，功能薄膜层(3)的厚度不小于5nm，功能薄膜层(3)与金属薄膜层Ⅰ(2)的重叠贴覆的面积不小于0.02mm2，功能薄膜层(3)与金属薄膜层Ⅰ(2)导通；在功能薄膜层(3)的上表面与一根对应变信号敏感的栅状线条(4)的一端连接，所述栅状线条(4)的材料是金、锰、铂、康铜、镍铬、镍铬铝铁合金、镍铬硅、镍铬铝铜合金、钯铬或铂钨合金，栅状线条(4)的线条的宽度不小于0.2mm，栅状线条(4)的线条的长度不小于0.5mm，栅状线条的厚度不小于5nm，栅状线条(4)的线条与功能薄膜层(3)的连接端的接触面积不小于0.02mm2，栅状线条(4)与功能薄膜层(3)的连接端之外的其它部分贴覆在待测零件表面(1)上；在栅状线条(4)的线条与功能薄膜层(3)的连接端的接触位置处贴覆一层金属薄膜层Ⅱ(5)，该金属薄膜层Ⅱ(5)不与功能薄膜层(3)接触，在栅状线条(4)的线条的另一端同样贴覆一层金属薄膜层Ⅱ(5)，所述金属薄膜层Ⅱ(5)的厚度不小于5nm，该金属薄膜层Ⅱ(5)与栅状线条(4)线条的连接端的接触面积不小于0.02mm2，从与栅状线条(4)两端连接的金属薄膜层Ⅱ(5)上分别引出一根信号引出线Ⅱ(7)、信号引出线Ⅲ(8)。