[发明专利]一种空气耦合超声波检测薄膜厚度的方法有效

专利信息
申请号: 201610889064.0 申请日: 2016-10-12
公开(公告)号: CN106441176B 公开(公告)日: 2019-04-02
发明(设计)人: 沈宇平;赵军辉 申请(专利权)人: 苏州博昇科技有限公司
主分类号: G01B17/02 分类号: G01B17/02
代理公司: 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 代理人: 潘志渊
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种空气耦合超声波检测薄膜厚度的方法,利用空气耦合超声自动化检测系统对至少一组多层薄膜进行厚度测量,检测采用透射式方式,以空气耦合超声幅值的变化作为有效检测信号;所述空气耦合超声自动化检测系统至少包含一个超声发射器和一个超声接收器,一组多层薄膜的结构为两层厚度相同的单层薄膜,中间通过硅胶粘合在一起;本发明的空气耦合超声波检测薄膜厚度的方法,提出一种对环境友好,可以应用到工业自动化的快速检测薄膜厚度的方法;其具有无污染性、准确性、稳定性和方便性等优点,替代了目前广泛使用的对环境有辐射污染的以及容易造成X射线装置老化的X射线薄膜检测方法。
搜索关键词: 一种 空气 耦合 超声波 检测 薄膜 厚度 方法
【主权项】:
1.一种空气耦合超声波检测薄膜厚度的方法,其特征在于:利用空气耦合超声自动化检测系统对单层或多层薄膜进行厚度测量,检测采用透射式方式,以空气耦合超声幅值的变化作为有效检测信号;多层薄膜结构包含多个单层薄膜,每两个单层薄膜之间均设置有硅胶层;所述空气耦合超声自动化检测系统至少包含一个超声波发射器和一个超声波接收器;根据超声波幅值的检测信号与超声波在检测路径上各处的衰减系数、超声波的透射常数以及薄膜厚度的关系来得出薄膜的厚度。
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