[发明专利]一种耐腐蚀耐磨铜锰合金靶材及其制备方法

摘要

本发明公开了一种耐腐蚀耐磨铜锰合金靶材，由以下重量百分比的组分组成：乙基香兰素0.1‑0.4wt％、Mn 0.5‑0.9wt％、Sc0.2‑0.7wt％、Nb 0.1‑0.2wt％、Zr 0.05‑0.06wt％、Cs 0.08‑0.12wt％、余量为铜，添加了非金属成分乙基香兰素能够显著提高铜锰合金靶材的耐腐蚀及耐磨性能，提高合金靶材的使用寿命。本发明同时公布了该合金靶材的制备方法：首先按照重量配比准备各原料组分；然后热锻开坯、冷轧变形、再结晶热处理；继续升温添加氩气制备原始坯料；最后搅拌摩擦加工进行晶粒细化，本发明方法简单易操作，绿色高效，具有较高的市场推广前景。

主权项

1.一种耐腐蚀耐磨铜锰合金靶材，其特征在于，由以下重量百分比的组分组成：乙基香兰素0.2‑0.3wt％、Mn 0.7‑0.9wt％、Sc 0.2‑0.4wt％、Nb 0.1‑0.2wt％、Zr 0.05‑0.06wt％、Cs 0.08‑0.09wt％、余量为铜；所述的一种耐腐蚀耐磨铜锰合金靶材通过下述的制备方法制备得到：(1)按照重量配比准备各原料组分；(2)热锻开坯，之后进行70‑90％的冷轧变形，再经过500‑600℃的再结晶热处理，保温3‑5小时；(3)升温至700‑780℃，添加氩气并除去液面浮渣制备得到原始坯料；(4)对原始坯料使用搅拌摩擦加工进行晶粒细化，得到晶粒尺寸大小6‑7μm的铜锰合金溅射靶材；所述步骤(2)在大气或者真空条件下进行；所述步骤(3)中升温至765‑780℃下添加氩气精炼15‑20分钟；所述步骤(4)搅拌摩擦加工中搅拌速度为1000‑1200转/分钟；所述步骤(4)搅拌摩擦加工中对坯料进行水冷；所述步骤(4)搅拌摩擦加工中加工后对坯料进行低温去应力退火，退火温度为150‑160℃。