[发明专利]掩埋金属型宽带反射光栅及其制作方法有效
| 申请号： | 201610891021.6 | 申请日： | 2016-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN107942425B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 徐建卫 | 申请（专利权）人： | 上海矽越光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人： | 邓文武 |
| 地址： | 201612 上海市松江区漕河泾开*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩埋金属型宽带反射光栅，包括衬底，所述衬底上设置有铝膜，所述铝膜上刻蚀有矩形光栅脊，所述矩形光栅脊间及光栅顶部设置有二氧化硅薄膜；本发明的掩埋金属型宽带反射光栅，结构简单，性能稳定，机械强度好，角度带宽宽，衍射效率高，成本低；本发明的掩埋金属型宽带反射光栅，在表面覆盖致密平整的二氧化硅薄膜，没有槽型结构，可擦洗。 | ||
| 搜索关键词： | 掩埋 金属 宽带 反射光栅 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种掩埋金属型宽带反射光栅，其特征在于，包括衬底（1），所述衬底（1）上设置有铝膜（2），所述铝膜（2）上刻蚀有矩形光栅脊（3），所述矩形光栅脊（3）间及光栅顶部设置有二氧化硅薄膜（4）。
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