[发明专利]一种MEMS陀螺仪有效
| 申请号： | 201610891762.4 | 申请日： | 2016-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN106500682B | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 李航;于连忠;胡宗达 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;G01C19/5663 |
| 代理公司： | 北京金之桥知识产权代理有限公司 11137 | 代理人： | 林建军 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种MEMS陀螺仪，包括上盖板、测量体以及下盖板，所述测量体设置于所述上盖板及下盖板之间，所述测量体中设置有与所述上盖板以及下盖板相连接的锚点；所述测量体包括相互对称设置的质量块组；每组质量块组包括：驱动质量块、传动质量块以及检测质量块；驱动质量块设置在所述传动质量块中；传动质量块通过连接梁与检测质量块相连接；每组所述质量块组中的驱动质量块与锚点之间形成有驱动梳齿结构；一组质量块组中的检测质量块相连接的检测梳齿与另一组与所述质量块组中的检测质量块相连接的检测梳齿相互交叉，形成所述检测梳齿结构。 | ||
| 搜索关键词： | 质量块 检测 测量体 驱动质量块 上盖板 下盖板 传动 陀螺仪 锚点 梳齿 传感器领域 对称设置 驱动梳齿 梳齿结构 连接梁 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS陀螺仪，包括上盖板、测量体以及下盖板，所述测量体设置于所述上盖板及下盖板之间，所述测量体中设置有与所述上盖板以及下盖板相连接的锚点；所述测量体包括相互对称设置的两组质量块组；其特征在于：每组质量块组包括：驱动质量块、传动质量块以及检测质量块；所述质量块组通过耦合梁相连接，所述耦合梁的一端与所述锚点相连接；所述驱动质量块以及所述检测质量块通过连接梁与所述锚点相连接；所述驱动质量块设置在所述传动质量块中，并通过所述连接梁与所述传动质量块相连接；所述传动质量块通过连接梁与所述检测质量块相连接；每组所述质量块组中的所述驱动质量块与所述锚点之间形成有驱动梳齿结构；一组所述质量块组中的与检测质量块相连接的检测梳齿与另一组与所述质量块组中的与检测质量块相连接的检测梳齿相互交叉，形成检测梳齿结构；所述测量体通过检测两组所述检测梳齿之间的间距变化引起的电容值变化来检测角速度。
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