[发明专利]单结晶制造装置及制造方法在审
| 申请号： | 201610896912.0 | 申请日： | 2016-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN107034515A | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 林田寿男 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30;C30B15/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 张雨,傅永霄 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够比较早地发现构成结晶提拉机构的零件的误动作或故障的单结晶制造装置及制造方法。单结晶制造装置具备从熔液（2）提拉单结晶（3）的结晶提拉机构（14）和控制结晶提拉机构（14）的控制部（30）。结晶提拉机构（14）具备升降驱动单结晶的提拉丝线（20）的马达（23）、连接于马达（23）的旋转轴的减速齿轮、检测马达（23）的旋转速度的旋转编码器（27）和检测提拉丝线（20）的移动量的位置编码器（26）。控制部（30）根据将根据位置编码器（26）及旋转编码器（27）的至少一方的输出信号求出的单结晶（3）的实际的提拉速度和目标提拉速度比较的结果，诊断结晶提拉机构（14）的提拉动作异常的有无。 | ||
| 搜索关键词： | 结晶 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种单结晶制造装置，其特征在于，具备：结晶提拉机构，所述结晶提拉机构从熔液提拉单结晶；控制部，所述控制部控制前述结晶提拉机构；前述结晶提拉机构具备：马达，所述马达将前述单结晶的提拉轴升降驱动；减速齿轮，所述减速齿轮连接在前述马达的旋转轴上；旋转编码器，所述旋转编码器检测前述马达的旋转速度；位置编码器，所述位置编码器检测前述提拉轴的移动量；前述控制部根据将前述单结晶的实际的提拉速度与目标提拉速度比较的结果，诊断由前述结晶提拉机构进行的提拉动作的异常的有无，前述单结晶的实际的提拉速度根据前述位置编码器及前述旋转编码器的至少一个的输出信号求出。
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