[发明专利]旁热式微传感器及其制造方法

摘要

本发明提供一种旁热式微传感器及其制造方法，包括衬底，衬底内形成有凹槽；焊盘，位于凹槽外围的衬底表面；旁热式微传感器主体，位于凹槽的上方，包括主体支撑层、旁式加热元件、第一绝缘层及敏感电极，旁式加热元件及敏感电极位于主体支撑层表面，且旁式加热元件位于敏感电极的外侧，第一绝缘层位于旁式加热元件表面；支撑梁，位于衬底及旁热式微传感器主体之间，适于将旁热式微传感器主体固支于衬底上；疏水疏油层，位于第一绝缘层表面、裸露的主体支撑层表面、裸露的衬底表面及支撑梁表面。本发明采用旁热式结构，减少了敏感材料所在区域绝缘层漏电对于敏感测试信号造成的干扰，在敏感电极区域实现简易的自对准式液态敏感材料上载。

主权项

一种旁热式微传感器，其特征在于，所述旁热式微传感器包括：衬底，所述衬底内形成有凹槽；焊盘，位于所述凹槽外围的所述衬底表面；旁热式微传感器主体，位于所述凹槽的上方，且与所述凹槽的底部相隔一定间距；所述旁热式微传感器主体包括：主体支撑层、旁式加热元件、第一绝缘层及敏感电极，所述旁式加热元件及所述敏感电极位于所述主体支撑层表面，且所述旁式加热元件位于所述敏感电极的外侧，所述第一绝缘层位于所述旁式加热元件表面；支撑梁，位于所述衬底及所述旁热式微传感器主体之间，适于将所述旁热式微传感器主体固支于所述衬底上；疏水疏油层，位于所述第一绝缘层表面、裸露的所述主体支撑层表面、裸露的所述衬底表面及所述支撑梁表面。