[发明专利]耐腐蚀保持环有效
| 申请号： | 201610898821.0 | 申请日： | 2016-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN106863110B | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 甘加达尔·希拉瓦特;西蒙·亚沃伯格;胡永其 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/32 | 分类号： | B24B37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文所述的实施方式保护抛光系统的保持环不受腐蚀性抛光化学物质的影响。在一个实施方式中，保持环具有环形主体，所述环形主体具有顶表面、内径侧壁、外径侧壁和底表面。内径侧壁被配置成用于限定基板。环形主体具有：刚性环形部分；聚合物环形部分，所述聚合物环形部分堆叠在刚性环形部分上且覆盖刚性环形部分的至少三侧；多个槽，所述多个槽形成在底表面中；和多个排水口，所述多个排水口穿过聚合物环形部分形成，其中排水口与刚性环形部分隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 刚性环形 环形主体 聚合物 内径侧壁 排水口 化学物质 抛光系统 外径侧壁 中排水口 抛光 槽形成 顶表面 耐腐蚀 堆叠 基板 隔离 穿过 覆盖 配置 | ||
【主权项】：
1.一种用于抛光系统的保持环，所述保持环包含：环形主体，所述环形主体具有顶表面、内径侧壁、外径侧壁和底表面，所述内径侧壁被配置成用于限定基板；其中所述环形主体包含：刚性环形部分；聚合物环形部分，所述聚合物环形部分堆叠在所述刚性环形部分上且覆盖所述刚性环形部分的至少三侧；多个槽，所述多个槽形成在所述底表面中；和多个排水口，所述多个排水口穿过所述聚合物环形部分形成，其中所述排水口通过所述聚合物环形部分的连续部分而与所述刚性环形部分隔离，所述连续部分由聚合物材料形成。
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