[发明专利]形成互连线的方法及制造使用互连线的磁存储器件的方法有效
| 申请号： | 201610900409.8 | 申请日： | 2016-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN106972098B | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 徐载训;金钟圭;吴廷翼;金仁皓;朴钟撤;白光铉;梁贤宇 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01L43/12 | 分类号： | H01L43/12 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 屈玉华 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 此处提供一种制造磁存储器件的方法，所述方法包括：在衬底上形成磁性隧道结图案；在衬底上形成层间绝缘层以覆盖磁性隧道结图案；在层间绝缘层上形成导电层；图案化导电层以形成电连接到磁性隧道结图案的互连图案；以及在互连图案上执行清洁工艺。清洁工艺使用第一气体和第二气体的气体混合物执行。第一气体包含氢元素(H)，以及第二气体包含不同于第一气体的源气体。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 互连 方法 制造 使用 磁存储器 | ||
【主权项】：
一种形成互连线的方法，包括：在衬底上的绝缘层上形成导电层；图案化所述导电层以形成导电图案；以及在所述导电图案上执行清洁工艺，其中所述清洁工艺使用具有第一气体和第二气体的气体混合物执行，其中所述第一气体包括氢元素(H)，以及所述第二气体包括与所述氢元素反应的源气体。
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