[发明专利]半导体器件及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201610905679.8 申请日: 2016-10-18
公开(公告)号: CN106960837A 公开(公告)日: 2017-07-18
发明(设计)人: 王垂堂;陈颉彦;汤子君;余振华;杨青峰;刘明凯;王彦评;吴凯强;张守仁;林韦廷;吕俊麟 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L23/552 分类号: H01L23/552;H01L23/31;H01L25/16;H01L21/98
代理公司: 北京德恒律治知识产权代理有限公司11409 代理人: 章社杲,李伟
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明实施例提供了一种半导体器件,包括半导体管芯。介电材料围绕半导体管芯以形成集成半导体封装件。接触件耦合至集成半导体封装件并且配置为半导体封装件的接地端。半导体器件还具有基本密封集成半导体封装件的EMI(电磁干扰)屏蔽罩,其中EMI屏蔽罩通过设置在集成半导体封装件中的路径与接触件耦合。本发明的实施例还提供了3D(三维)半导体封装件以及制造半导体器件的方法。
搜索关键词: 半导体器件 及其 制造 方法
【主权项】:
一种半导体器件,包括:半导体管芯;绝缘层,围绕所述半导体管芯;后钝化互连件(PPI),位于所述绝缘层和第一半导体管芯上方;导电部件,位于所述绝缘层的边缘中并且延伸穿过所述绝缘层,其中,所述导电部件包括从所述绝缘层暴露的表面;EMI(电磁干扰)屏蔽罩,基本覆盖所述绝缘层的边缘并且与所述导电部件的暴露的表面接触。
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