[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体有效
| 申请号： | 201610913280.4 | 申请日： | 2016-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN107063335B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 井出次男 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;范文萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够发挥优异的物理量检测灵敏度的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：基座(21)；被配置在基座(21)上的IC(5)；被配置在IC(5)上的角速度传感器元件(4)以及加速度传感器元件(3)；被配置在IC(5)与角速度传感器元件(4)之间的第一应力缓和层(61)；被配置在IC(5)与加速度传感器元件(3)之间的第二应力缓和层(62)。此外，第一应力缓和层(61)、第二应力缓和层(62)以相互分离的方式而配置。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
暂无信息
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