[发明专利]一种高温薄膜传感器用抗氧化复合防护层及其制造方法有效
| 申请号： | 201610913940.9 | 申请日： | 2016-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN106498355B | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 蒋洪川;王洪敏;赵晓辉;蒋书文;张万里;刘子良;黄敏;肖瑶 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/58;C23C14/16;C23C14/02;G01D3/08 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种高温薄膜传感器用抗氧化复合防护层及其制备方法，属于薄膜传感器技术领域。该抗氧化复合防护层自下而上依次为BN绝缘层、ZrB2基复合陶瓷层、Al2O3覆盖层，其中，BN绝缘层、ZrB2基复合陶瓷层和Al2O3覆盖层采用蒸发或溅射等方法依次沉积于薄膜传感器敏感功能层上。本发明高温薄膜传感器用抗氧化复合防护层，可满足在1000～1700℃高温条件下航空发动机高温薄膜传感器的抗氧化防护需求，有效提高了薄膜传感器在高温高压恶劣环境下的稳定性、可靠性和寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 薄膜 传感 器用 氧化 复合 防护 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高温薄膜传感器用抗氧化复合防护层，包括BN绝缘层、ZrB2基复合陶瓷层、Al2O3覆盖层，其中，BN绝缘层、ZrB2基复合陶瓷层和Al2O3覆盖层采用蒸发或溅射方法依次沉积于薄膜传感器敏感功能层上，所述ZrB2基复合陶瓷层为Zr‑B‑Si‑C薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于电子科技大学，未经电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610913940.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
