[发明专利]汽相沉积工艺的气体前体产生系统和固体前体传输的方法

摘要

本发明的实施例涉及汽相沉积工艺的气体前体产生系统和固体前体传输的方法。在一些实施例中，气体前体产生系统包括前体安瓿，前体安瓿包括与载气源耦接的入口和与汽相沉积室耦接的出口。液体前体布置在前体安瓿内，其包括具有一种或多种离子液体并且配置为溶解固体前体的化学物质的溶剂。通过液体前体的蒸发在前体安瓿的上部区域处产生气体前体并通过前体安瓿的出口由载气携带至汽相沉积室。固体前体的化学物质传输入汽相沉积室中并且沉积在衬底的表面上。

主权项

一种用于汽相沉积工艺的气体前体产生系统，包括：前体安瓿，包括与载气源耦接的入口和与汽相沉积室耦接的出口；液体前体，布置在所述前体安瓿内，包括具有一种或多种离子液体并且配置为溶解固体前体的化学物质的溶剂；以及气体前体，通过所述液体前体的蒸发提供在所述前体安瓿的上部区域处并且通过所述前体安瓿的出口由载气携带入所述汽相沉积室，其中，所述固体前体的所述化学物质传送到所述汽相沉积室内并且沉积在衬底的表面上。