[发明专利]非制冷焦平面探测器低温激活薄膜吸气剂及其制备方法

摘要

非制冷焦平面探测器低温激活薄膜吸气剂及其制备方法，涉及非制冷焦平面探测器，尤其是一种低温激活、高吸气性能的非制冷焦平面探测器低温激活薄膜吸气剂及其制备方法。本发明的吸气剂包括调节层和气体吸收层，调节层沉积在非制冷焦平面探测器窗口上，气体吸收层沉积在调节层上，调节层为Ti、Zr、AL、Cr、Cu、Fe、Pt或Ru中的任意一种金属，吸收层为Zr与Co两种材料，以及Y、La、Ce中的至少一种材料形成的多元合金；调节层与窗口之间形成一致密的过度层，过度层厚度为20~50nm，调节层厚度为1~2μm，吸收层厚度为2~5μm。本发明采用了多孔结构的薄膜吸气剂，过渡层较为致密，并与红外窗口金属功函数较为匹配，增强了薄膜吸气剂在衬底上的附着力。

主权项

1.一种非制冷焦平面探测器低温激活薄膜吸气剂，其特征在于：该吸气剂包括调节层和气体吸收层，调节层沉积在非制冷焦平面探测器窗口上，气体吸收层沉积在调节层上，调节层为Ti、Zr、Al、Cr、Cu、Fe、Pt或Ru中的任意一种金属，吸收层为Zr与Co两种材料，以及Y、La、Ce中的至少一种材料形成的多元合金；调节层与窗口之间形成一致密的过度层，过度层厚度为20～50nm，调节层厚度为1～2μm，吸收层厚度为2～5μm；所述吸气剂通过以下步骤进行制备：1)探测器窗口采用甲苯、丙酮和无水乙醇三种清洗溶液，通过超声波进行清洗，每种清洗溶液清洗时间为15min，之后再用等离子清洗机清洗10min；2)将步骤1中清洗干净的探测器窗口装配到蒸镀所用的工装夹具里，并安装到双枪电子束设备的蒸发样品台上；3)将样品台真空抽到至少0.0001Pa，250℃烘烤30min～60min，采用电子枪蒸发一层调节层，然后采用双电子枪同时蒸发调节层和NaCl，多孔结构的大小由NaCl蒸发速率控制；4)将步骤3中得到样件放到纯水中浸泡60min，并采用超声波清洗机纯水超声清洗三遍，每遍15min左右，然后用无水乙醇进行脱水；5)将步骤4中得到的样件放到箱式镀膜机内，真空小于0.001Pa时开始烘烤加热，加热至150～250℃烘烤60min～120min；6)步骤5完成后，当系统真空小于0.0001Pa时，采用电子束蒸发气体吸收层，在薄膜沉积以前需要对靶材预沉积5min左右，然后开始沉积，沉积时间在50min～250min，样品台转动速度为30～60r/min，之后样品台自热冷却，即可得到制备完成的带有吸气剂的探测器窗口。