[发明专利]含氟蚀刻废液生产氟化氢铵的方法

摘要

含氟蚀刻废液生产氟化氢铵的方法，包括下述步骤：①将含氟蚀刻废液通过除杂装置进行除杂处理，除去废液中的硫酸根离子、氯离子和硝酸根离子；②除杂后的废液加入至反应釜中，向反应釜中通入液氨直到没有新的沉淀物产生，再加热将未反应的氨气排出回收处理，液体和沉淀物加入至过滤器中过滤分离得到滤液和滤渣；③向步骤②得到的滤液中再加入氢氟酸，直到pH值不再变化，再经蒸发、结晶、洗涤、烘干、粉碎，得氟化氢铵产品。本发明中适用于氟含量比较高的含氟蚀刻废液（氢氟酸含量不小于5 wt%），将除杂后的废液进行处理，回收得到氟化氢铵产品，有效对含氟废液进行二次利用，减少废液对环境的污染，提高工业价值。 1

主权项

1. 含氟蚀刻废液生产氟化氢铵的方法，其特征在于：包括下述步骤： ①将含氟蚀刻废液通过除杂装置进行除杂处理，除去废液中的硫酸根离子、氯离子和硝酸根离子； ②除杂后的废液加入至反应釜中，向反应釜中通入液氨直到没有新的沉淀物产生，再加热将未反应的氨气排出回收处理，液体和沉淀物加入至过滤器中过滤分离得到滤液和滤渣； ③向步骤②得到的滤液中再加入氢氟酸，直到pH值不再变化，再经蒸发、结晶、洗涤、烘干、粉碎，得氟化氢铵产品； 所述的步骤②中的过滤器包括壳体（1）和负压箱（2），壳体（1）的上部安装带有阀门的壳体进液管（3），壳体（1）内安装漏斗（4），壳体（1）的上部安装上盖（5），漏斗（4）的管外周安装滚珠轴承（6），滚珠轴承（6）的内圈与漏斗（4）的管配合，滚珠轴承（6）的外圈通过支架（7）连接壳体（1），漏斗（4）的管上安装从动齿轮（8），壳体（1）的底部安装电机（9），电机（9）的输出轴连接主动齿轮（10），主动齿轮（10）与从动齿轮（8）啮合，漏斗（4）的管伸出至壳体（1）并伸入至负压箱（2）内，漏斗（4）的管与壳体（1）、负压箱（2）之间通过密封轴承（13）配合，负压箱（2）的上部通过管路连接真空泵（11），负压箱（2）的底部开设带有阀门的负压箱出液管（12）；壳体进液管（3）的下端朝向漏斗（4）的上部，漏斗（4）的上部内侧铺设滤纸（14）。

2.根据权利要求1所述的含氟蚀刻废液生产氟化氢铵的方法，其特征在于：所述的步骤②中的反应釜包括釜体（15），釜体（15）的上部设有带有阀门的釜体进液管（16）和液氨管（17），液氨管（17）的端部连接花洒（18），釜体（15）的下部设有加热棒（19），釜体（15）的顶部安装排气管（20），排气管（20）连接氨气回收装置（21）。

3.根据权利要求1所述的含氟蚀刻废液生产氟化氢铵的方法，其特征在于：所述的除杂装置为阴离子交换树脂塔。